正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來(lái)，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱(chēng)陰極濺射離子泵）對(duì)氬有一定的抽速，兩者組合起來(lái)，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來(lái)使用。

維護(hù)內(nèi)容：

1.真空泵長(zhǎng)期停用，需將泵拆開(kāi)，擦干水分，將轉(zhuǎn)動(dòng)部位及結(jié)合處涂以油脂裝好，妥善保存。

2.向軸承體內(nèi)加入軸承潤(rùn)滑機(jī)油，觀察油位應(yīng)在油標(biāo)的中心線處，潤(rùn)滑油應(yīng)及時(shí)更換或補(bǔ)充。

3.真空泵要停止使用時(shí)，先關(guān)閉閘閥、壓力表，然后停止電機(jī)。

4.檢查油罐車(chē)真空泵管路及結(jié)合處有無(wú)松動(dòng)現(xiàn)象。用手轉(zhuǎn)動(dòng)真空泵，試看真空泵是否靈活。

5.擰下真空泵泵體的引水螺塞，灌注引水（或引漿)。